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防腐型旋轉涂覆儀勻膠機采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學穩定性和的耐腐蝕性,能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。
凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作
加熱型旋轉涂覆儀勻膠機采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。
12寸不銹鋼腔體加熱旋涂儀勻膠機是一種實驗室設備,主要用于制備薄膜材料,其應用范圍包括制備太陽能電池,制備金屬、半導體、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制備納米材料、納米結構、納米薄膜等
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