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使用帶預(yù)熱的硫化物制備爐利用?化學(xué)氣相沉積法, 將固態(tài)硫源和鉬源在高溫下升華為氣態(tài)的過(guò)程, 通過(guò)改變保護(hù)氣體的比例來(lái)控制MoS2的結(jié)構(gòu)，制備MoS2薄膜。?此款帶預(yù)熱的硫化物制備爐前端配有預(yù)加熱器，輔助硫粉蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，可對(duì)爐管溫度實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫。

二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備由預(yù)熱爐、反應(yīng)爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)以及軌道支架五部分組成。二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備前端配的預(yù)熱爐能夠用來(lái)預(yù)熱蒸發(fā)固態(tài)源，反應(yīng)爐能夠提供反應(yīng)所需的熱環(huán)境。